符合 SEMI S2 / S8 CE及 UL 國際規範標準，專為無塵室工作環境下降低晶圓樣本受汙染破損之風險機率，採用先進的光學成像技術能力及舒適人體工學設計大型載物台專用 300 x 300mm 機種
MX63 光學顯微鏡系統透過最佳化設計，運用於最大尺寸 300mm 的晶圓、17吋以上平板顯示器、印刷電路板及其他大尺寸樣品的高質量觀察檢測
採用的模組化設計，讓操作人員選擇所需的組配件可訂制化的光路光學系統
符合人體工學設計，提高品檢製造上工作效率並做到操作人性化及舒適性
搭載 PRECiV 影像軟體從取樣、觀察拍照、測量、記錄到建立流暢精準觀測報告
暗場觀察 MIX 其他觀察方法 讓不可見影像清晰可見
明場、螢光或偏光方式結合生成獨特影像，能夠看到以前傳統顯微鏡難以看到的缺陷
暗場觀察的 LED 照明裝置具有照射 4 種象限可變換照射方向，減少樣品光暈使樣本表面紋理層次明顯可見
MX63 光學顯微鏡系統透過最佳化設計，運用於最大尺寸 300mm 的晶圓、17吋以上平板顯示器、印刷電路板及其他大尺寸樣品的高質量觀察檢測
採用的模組化設計，讓操作人員選擇所需的組配件可訂制化的光路光學系統
符合人體工學設計，提高品檢製造上工作效率並做到操作人性化及舒適性
搭載 PRECiV 影像軟體從取樣、觀察拍照、測量、記錄到建立流暢精準觀測報告
暗場觀察 MIX 其他觀察方法 讓不可見影像清晰可見
明場、螢光或偏光方式結合生成獨特影像，能夠看到以前傳統顯微鏡難以看到的缺陷
暗場觀察的 LED 照明裝置具有照射 4 種象限可變換照射方向，減少樣品光暈使樣本表面紋理層次明顯可見